當(dāng)?shù)貢r(shí)間周四，美國(guó)芯片巨頭英特爾宣布，已開(kāi)始組裝阿斯麥（ASML）的高數(shù)值孔徑（High-NA）極紫外（EUV）光刻機(jī)，這是其超越競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的重要一步。
英特爾是首家購(gòu)買(mǎi)阿斯麥新一代光刻機(jī)的公司，這臺(tái)機(jī)器的售價(jià)高達(dá)3.5億歐元（約合3.73億美元）。盡管存在一定的財(cái)務(wù)和工程風(fēng)險(xiǎn)，但該設(shè)備預(yù)計(jì)將能夠生產(chǎn)體積更小、處理速度更快的新一代芯片。
在與記者的交流中，英特爾光刻主管馬克·菲利普斯（Mark Phillips）表達(dá)了對(duì)其決策的堅(jiān)定信心：“我們?cè)跊Q定購(gòu)買(mǎi)這些設(shè)備時(shí)就已經(jīng)認(rèn)可了它們的價(jià)格。如果我們不認(rèn)為這些設(shè)備物有所值，我們根本不會(huì)采購(gòu)?！?span style="display:none">hK2驛資訊
阿斯麥?zhǔn)菤W洲最大的科技公司，在光刻機(jī)市場(chǎng)占據(jù)主導(dǎo)地位。光刻機(jī)是一種利用光束幫助制造芯片電路的設(shè)備。
光刻技術(shù)是芯片制造商用以提升芯片性能的核心技術(shù)之一，它決定了芯片上晶體管的最小寬度——晶體管寬度越小，芯片的處理速度通常越快，能效也越高。
新一代高數(shù)值孔徑（High NA）光刻工具預(yù)計(jì)能大幅減小晶體管的寬度，達(dá)到原來(lái)的三分之一。然而，芯片制造商必須在這種顯著的成本提升和技術(shù)優(yōu)勢(shì)之間進(jìn)行權(quán)衡，并考慮現(xiàn)有技術(shù)的可靠性是否已足夠滿足需求。
英特爾的錯(cuò)誤
英特爾決心率先采用高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)并非偶然。
英特爾雖曾參與開(kāi)發(fā)極紫外光刻技術(shù)，但在開(kāi)始使用阿斯麥?zhǔn)卓顦O紫外光刻機(jī)上卻晚于其競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手臺(tái)積電。英特爾首席執(zhí)行官帕特·蓋爾辛格（Pat Gelsinger）承認(rèn)，這是一個(gè)嚴(yán)重的失誤。
與此同時(shí)，英特爾專注于所謂的“多重曝光”技術(shù)的開(kāi)發(fā)，其本質(zhì)是使用分辨率較低的光刻機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行多次光刻，以達(dá)到與高端機(jī)器相同的效果。
菲利普斯表示：“那就是我們開(kāi)始遇到麻煩的時(shí)候。”
盡管傳統(tǒng)的DUV光刻機(jī)成本較低，但復(fù)雜的“多重曝光”操作耗時(shí)且降低了芯片的良品率，這減緩了英特爾的業(yè)務(wù)發(fā)展。
英特爾目前已經(jīng)在制造最關(guān)鍵的芯片部件時(shí)使用了第一代極紫外光刻機(jī)，菲利普斯預(yù)計(jì)，轉(zhuǎn)用高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)將會(huì)更加順利。
他說(shuō)：“現(xiàn)在我們已經(jīng)有了期待已久的新一代極紫外光刻機(jī)，我們不想再犯過(guò)去的錯(cuò)誤。”
菲利普斯還表示，位于俄勒岡州希爾斯伯勒?qǐng)@區(qū)的這臺(tái)新機(jī)器預(yù)計(jì)將在今年晚些時(shí)候全面投入使用。
英特爾計(jì)劃在2025年使用這臺(tái)巨大的機(jī)器開(kāi)發(fā)14A代芯片，并預(yù)計(jì)在2026年開(kāi)始初步生產(chǎn)，到2027年實(shí)現(xiàn)全面商業(yè)化生產(chǎn)。
阿斯麥在本周公布的最新財(cái)報(bào)中表示，已開(kāi)始向一位客戶發(fā)運(yùn)第二套高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。這位客戶可能是臺(tái)積電或三星。
由于這些大型設(shè)備的運(yùn)輸和安裝可能需要長(zhǎng)達(dá)六個(gè)月的時(shí)間，因此英特爾此舉已經(jīng)占據(jù)了先機(jī)。
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